| Lerninhalte |
- Die Studierende/der Studierende wird in die Lage versetzt, technologische Abläufe in der Mikrosystemtechnik sowie physikalische Effekte im Mikrobereich zu verstehen und konstruktiv anzuwenden.
Fachkompetenz:
- Wiedergabe und Verständnis der Grundlagen der Vakuumtechnik
- Wiedergabe und Verständnis von Beschichtungen
- Wiedergabe und Verständnis bezüglich Oxidation, Strukturierung, Ätztechnik, Ionenätzen
- Wiedergabe und Verständnis der Nano-Strukturierung, LIGA-Technik
- Wiedergabe, Verständnis und Anwendung von physikalischen Ähnlichkeiten
- Wiedergabe und Verständnis von mechanischen Mikrosystemen
- Wiedergabe und Verständnis von thermischen Mikrosystemen
- Wiedergabe und Verständnis von elektromagnetischen Mikrosystemen
- Wiedergabe und Verständnis von elektronischen Systemen
Selbst- und Sozialkometenz:
- Fachübergreifendes Denken |
