Lerninhalte |
- Die Studierende/der Studierende wird in die Lage versetzt, technologische Abläufe in der Mikrosystemtechnik sowie physikalische Effekte im Mikrobereich zu verstehen und konstruktiv anzuwenden. Fachkompetenz: - Wiedergabe und Verständnis der Grundlagen der Vakuumtechnik - Wiedergabe und Verständnis von Beschichtungen - Wiedergabe und Verständnis bezüglich Oxidation, Strukturierung, Ätztechnik, Ionenätzen - Wiedergabe und Verständnis der Nano-Strukturierung, LIGA-Technik - Wiedergabe, Verständnis und Anwendung von physikalischen Ähnlichkeiten - Wiedergabe und Verständnis von mechanischen Mikrosystemen - Wiedergabe und Verständnis von thermischen Mikrosystemen - Wiedergabe und Verständnis von elektromagnetischen Mikrosystemen - Wiedergabe und Verständnis von elektronischen Systemen Selbst- und Sozialkometenz: - Fachübergreifendes Denken |