Publikation: Teil einer Monographie/eines Konferenzbandes

Sensor structures generated with combination of SU8 and PCBMEMS

Titel	Sensor structures generated with combination of SU8 and PCBMEMS
Veröffentlicht in	IECON 2013 : 39th annual conference on IEEE Industrial Electronics Society ; Vienna, Austria, 10 - 13 November 2013 ; [proceedings] , ISBN 978-1-4799-0223-1. - Piscataway, NJ : IEEE
Erscheinungsjahr	2013
Seiten (von – bis)	108 – 112
Jahr	2013
Publikationsform	Druckschrift
Publikationsart	Teil einer Monographie/eines Konferenzbandes
Sprache	Englisch
Letzte Änderung	08.09.2017 05:04:19
Bearbeitungsstatus	durch UB Rostock abschließend validiert
Dauerhafte URL	http://purl.uni-rostock.de/fodb/pub/44139
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