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Publikation: Dissertationsschrift
Investigation, development and use of sensor systems for the implementation of testing processes during the wafer production process
Grunddaten
Autoren
Einrichtung
Grunddaten
Titel
Investigation, development and use of sensor systems for the implementation of testing processes during the wafer production process
Erscheinungsjahr
2014
Publikationsform
Druckschrift
Publikationsart
Dissertationsschrift
Sprache
Englisch
Letzte Änderung
07.08.2015 02:14:05
Bearbeitungsstatus
durch UB Rostock abschließend validiert
Dauerhafte URL
http://purl.uni-rostock.de/fodb/pub/48753
Links zu Katalogen
Autor
Mirian, Farhad
Einrichtung
Fakultät für Informatik und Elektrotechnik (IEF)